杨杰提前把沉浸式🞄👧光刻技让瑞星科技公司研发出来就是为了为了解决国内现阶段在半导体技术整体不足的情况。
现阶段瑞星科技公🞄👧司自工件台上的运动精😡🂼度只能控制在4纳米，制造出来的光刻机只能保证极限制程工艺维持在🗺♅90纳米的，而三阳光学公司自己现在制造出来的镜片光学数值孔径只能达到0.5，距离G国蔡司制造出来的镜组0.7还是有不小的距离。
不过今年上🟆🚺半年机床研究院的超高精度设备研发部😉⛉门会推出超高精度的🏣数控磨床，到明年初三阳光学公司应该能生产出更高数值孔径的镜组出来。
瑞星科技公司在光刻机跟刻蚀机的设计跟系统整🄕♄合方面这些年已经逐步成🍄熟了，这让杨杰有信心在明年就可以大批量的生产出沉浸式光刻机出来，到时候可以大幅地降低国内晶圆厂的建设成本。
现在艾斯💮🕒摩尔公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻机一套要卖到两千万到五千万美金之间，一座晶圆厂至少需要3到4台，瑞星科技公司到现在已经在国内卖出去了三十多台，在这个上面赚了差不多5亿多美金，光刻机反倒是卖得最多，总共卖出去了六百多台，每台售价在一百八十万美金，差不多赚了十多亿美金🗝，现在国外很多公司也是向瑞星科技公司开始下订单采购刻蚀机。
其实从前年开始，瑞星科技公司就开始99下半年年就开始实现了盈利，杨杰这几年总共向瑞星科技公司投入了接近二十多亿美金，现在终于是见⚧📱到了成效。
现在瑞星科技公司的研发人员超过了三千多人，并且积极地跟国内外的🏣公司合作。
杨杰利用跟自己跟军方良好的关系，将光刻机的🄕♄10个分系统、数万个机械件件、100多个传感器分包😴🅢给了给了国内的上千家研究所和数百家📎🙰军工企业来完成。
瑞星科技公司则是负责这些系统的整合和检测🗻♎验收，自己主要的精力集🏣中在几个核心系统的研发。
军方高层对此非常重视，更关键的👕是瑞星科技公司定制的这些系统虽然要求极为严苛，但是给的订金十分丰厚，去🆢年一年交付产品从瑞星科技公司拿到的款项就达到了五十多亿。
既然这么赚钱，军方自然是十分舍得下本钱，前年就把所有的生产设备全都更新了一遍，很多设备还是从机床研究院定制的，并且加大了🃃🕊研发投入。
现在瑞星科技公司产品线分为PAS系列和XT系列，其中PAS系列光源为高压汞灯光源，这种机型使用了瑞星科技公司自己设计生产的镜组，镜头是三阳光学公司🈀生产提供的，也采用了步进扫描沉浸式技术，因为使用📠🜌了沉浸式技术，这种波长在365纳米的光源原本极限制程只能达到0.25微米，但是现在可以提升到了120纳米，而且价格只有一千美金！
现在市场上尼康、佳能、艾斯摩尔三家主力都是以氟化氪激光🌑⚀光源为主，极限制程工艺在130纳米，高端的机型是以氟化氩激光光源的光刻机，极限制程工艺在6🗮5纳米。
现在瑞星科技公司氟化氪激光光源光刻机极限制程工艺可以达到90纳米，这还是因为工件台的进度不够导致的，如果能把工件台的运动精⛤🜓🁱度控制在2纳米，那么制程工艺可以达到70纳米左右！
瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技术后简直像是一头野蛮的公牛闯进了瓷器店一般，将这个原本只有三家瓜分的光刻机市场是搅得天翻地覆！